第二次世界大戰后，航天、航空、電子技術(包括計算機)及核技術等高科技尖端技術得到飛速的發展，而它們的發展離不開新型材料，新型材料的發展又需要采用新型設備，真空電爐就屬于這種新型設備。許多重要有色金屬和臺金必須在真空電爐中熔煉成材，例如金屬鈦(包括鈦合金)在大氣中熔煉會氧化，若在真空爐中熔煉就可以獲取不氧化的鈦，還可以將鈦合金澆注成零件。金屬鋯同鈦一樣也是在真空爐中熔煉的。許多高溫合金及精密合金也要在真空電爐中制取，如新型強磁性材料釹鐵硼臺金就是在真空燒結爐中制取的。

    宇宙工業中所用的許多零件都要在真空電爐中進行熱處理，國外一些著名的飛機制造公司生產的飛機零件都要進行真空熱處理方可驗收，目的是保證工件的質量。

    真空電爐是從50年代發展起來的。第一臺真空熱處理爐是在1958年美國伊普森公司制造出來的，并用于工業生產，這是一臺周期式氣淬爐．用于工具鋼和高速鋼工件的真空熱處理。第一臺周期式真空感應爐是美國在1945年研制成功的，并用來熔煉特種鋼。第一臺用于工業生產的真空自耗爐是1955年出現的，用于熔煉金屬鈦，以后又用于熔煉特種鋼。第一臺電子束爐是在1954年研制成功的．并用于工業生產，主要是熔煉特種鋼、鉭和鈮。當前擁有真空電爐的國家較多，其中美國、德國、日本和英國處于先進行列。

    我國在真空電爐研制方面發展速度較快，1973年我國制造出第——臺真空熱處理爐并用于工業生產，解決了合金鋼零件的淬火處理問題。1962年我國生產出用于工業生產的真空感應爐。1960年我國研制出真空自耗爐并用于生產，使我國鈦材生產有了迅速發展。1964年我國生產出第一臺用于工業生產的電子柬爐，這是一臺環形電子槍的電子束爐，以后又出現了皮爾斯槍的電子束爐。我國在真空電爐生產方面同國外發達國家比較有一定差距，主要是電爐質量低些，具體表現在電爐的配套系統元件質量差。如真空系統、電氣系統、氣動系統和液壓系統等元件質量差。這些都說明我國的基礎工業薄弱。近幾年來，我國的真空電爐質量有很大的提高，發展速度也很快，有的已能出口。    ；

    最近國內外對真空氣淬極為重視，并投入較大的人力和物力進行研制。過去工具鋼和高速鋼件一般采用鹽浴爐淬火，但是，鹽浴爐淬火能耗大，成本高，對人體有害。自從真空熱處理新工藝出現后，開始應用氣淬爐進行淬火，尤其是采用高壓氣淬較多。用它淬火后的工件質量好，節能，對人體無害，因此受到國內外熱處理界的高度重視。有少數國家提出用真空氣淬爐(低壓氣淬和高壓氣淬)代替鹽浴爐淬火，這是金屬熱處理今后發展一個重要方向。我國的一些工廠和科研部門都在研制和生產高壓氣淬爐，并取得很好效果。